晶圓減薄並非“簡單削薄”,而是直接影響芯片性能與應用場景的關鍵工序,主要作用包括:
適配先進封裝需求:在芯片堆疊(如3D、IC、SiP封裝)中,減薄後的晶圓(厚度50-100μm)可大幅降低堆疊高度,實現設備小型化(如手機SoC芯片、穿戴設備芯片);同時,薄晶圓更易實現矽通孔(TSV)工藝,提升芯片間的信號傳輸速度。
提升散熱效率:芯片工作時產生的熱量需通過晶圓傳導至散熱結構,較厚晶圓(如>300μm)會形成“熱阻屏障”,減薄後(如<100μm)熱阻可降低40%-60%,避免芯片因過熱導致性能衰減或壽命縮短(典型應用:功率半導體芯片、汽車電子芯片)。
滿足特殊器件性能要求:MEMS(微機電係統)器件(如加速度傳感器、陀螺儀)需通過晶圓減薄機(厚度20-50μm)實現“機械靈敏度”—— 薄晶圓更易在外部力作用下產生微小形變,從而精準感知物理信號;此外,射頻(RF)芯片減薄後可減少電磁幹擾,提升信號穩定性。
總而言之,芯片基材在晶圓減薄機上加工後,能實現超薄芯片的產生,有效提升各類穿戴設備的存儲和運算性能,也能在各個智能化信息化領域提供有效的性能支撐。